数字存储示波器的性能指标，主要取决于A/D、D/A和RAM。
　　取样速率——取样速率指单位时间内取样的次数，也称数字化速率，用每秒钟完成的A/D转换的次数来衡量。取样速率愈高，仪器捕捉高频或快速信号的能力愈强。
　　数字存储示波器在测量时刻的实时取样速率可根据被测信号所设定的扫描时间因数（t/div，即扫描一格所用的时间）来推算。
　　存储带宽(B)——存储带宽与取样速率fs密切相关。根据取样定理，如果取样速率大于或等于信号频率的2倍，便可重现原信号。实际上，为保证显示波形的分辨率，一般取N=4~10倍或更多，即存储带宽。
　　分辨率——分辨率指示波器能分辨的小增量。它包括垂直分辨率（电压分辨率）和水平分辨率（时间分辨率）。垂直分辨率与A/D转换器的分辨率相对应，常以屏幕每格的分级数(级/div)或百分数来表示。水平分辨率由取样速率和存储器的容量决定，常以屏幕每格含多少个取样点或用百分数来表示。取样速率决定了两个点之间的时间间隔，存储容量决定了一屏内包含的点数。
　　存储容量——存储容量又称记录长度，它由采集存储器（主存储器）的存储容量来表示，常以字(word)为单位。
　　读出速度——读出速度是指将数据从存储器中读出的速度，常用“(时间)/div”来表示。