小型等离子清洗机具有成本低廉、操作灵活的特点， 与动辄十几万美元的大型产品相比小型等离子清洁小型机具有以下优点:
　　①可以更灵活地操作，简便地改变处理气体的种类和处理程序。
　　②不会对人员的身体造成任何伤害。
　　③其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。
　　小型等离子设备广泛应用于等离子清洗和表面改性等场合。通过其处理，能够改善材料的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。其具体应用包括：
　　①塑料、玻璃和陶瓷表面活化
　　玻璃、陶瓷和塑料（如聚丙烯、PTFE等）基本上是没有极性的，因此这些材料在进行粘合、油漆和涂覆之前要进行表面活化处理。
　　②金属去油及清洁
　　金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。
　　焊接操作前：通常印刷线路板在焊接前要用化学助焊剂处理。在焊接完成后这些化学物质必须采用等离子方法去除，否则会带来腐蚀等问题。
　　键合操作前：好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱，这些残留物能够通过等离子方法有选择地去除。同时氧化层对键合的质量也是有害的，也需要进行等离子清洁。
　　2、特点：
　　①操作简便、成本低廉；
　　②高效真空电极；
　　③气体流量通过流量计和针阀实现控制；
　　④功率可在200W以内调节控制（完全能够能够满足清洁需要，200W以上功率用于刻蚀）；
　　⑤自动阻抗匹配；
　　⑥自由设置参数：处理时间、功率、气体、压力；
　　⑦安全保护功能：真空触发、舱门锁。