严格讲能谱仪（EDS）准确定量应该用点分析方法，但对断口，腐蚀产物，粉体等不平试样，一般是不符合试样表面平、电子束垂直人射的EDS点定量分析条件，但在许多实际分析中，面扫描定量分析结果也非常有价值。实践证明，面扫描定量分析结果可以解释许多实际问题和科学问题。为了提高分析准确度，在可能的分析条件下，扫描分析范围应尽量小，因为电子束扫描范围越小，电子束越接近于垂直入射。
　　电子束扫描分析范围由放大倍率确定。放大倍率M是扫描显示（CRT）的线性尺度（L）与试样上扫描范围的相应长度(l)之比：M=L/l。当用SEM照相的显示屏显示时，显示屏的线性尺度（宽度）L为100mm，在试样上的扫描范围：l=L/M=100mm（CRT）/M
　　例如，当SEM放大倍率M为20倍时，在试样上的扫描范围为5mm。放大倍率为1000倍时，分析范围为100μm。如果放大图像用大显示屏观察时，式中的L用大显示屏的线性尺度（宽度）替代。表（放大倍率与分析范围）为L=100mm时，常用的放大倍率的电子束在试样上的分析范围值。

　　第二张图为放大十万倍的纳米氧化锆的二次电子像，整个图像的范围只有约1pm。如果在十万倍进行扫描定量分析，成分分析范围只有1μm，相当于定点分析。尽管图氧化锆试样的表面不平，但因为高放大倍率电子束扫描范围小，仍可用高倍扫描的方法获得较好的成分定量结果。对低倍扫描定量分析，由于电子束扫描范围大，与电子束垂直入射条件相差较远，会影响定量结果的准确度。